產(chǎn)品名稱(chēng): | Ain on Sapph |
直徑inch: | 2、4 可定制 |
翹曲度: | <30um |
單價(jià): | 1000.00元/片 |
發(fā)貨期限: | 自買(mǎi)家付款之日起 天內發(fā)貨 |
所在地: | 福建 廈門(mén) |
有效期至: | 長(cháng)期有效 |
發(fā)布時(shí)間: | 2024-03-05 21:19 |
最后更新: | 2024-03-05 21:19 |
瀏覽次數: | 105 |
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化合積電采用PVD物理氣相沉積工藝制備出高質(zhì)量的藍寶石氮化鋁,【0001】取向搖擺曲線(xiàn)(XRC)的測量結果<0.05°(180arcsec),并具備以下優(yōu)勢:
?通過(guò)改善AIN生長(cháng)步驟提高產(chǎn)量
?與MOCVD或HVPE生長(cháng)的AIN相比,高質(zhì)量、大尺寸、低成本,有利于規?;慨a(chǎn)
?可提供高達200nm厚度或是200nm以上(可根據要求提供其他厚度)
產(chǎn)品名稱(chēng) | 藍寶石基氮化鋁(AIN on Sapphire) |
基底材料(Substrate) | 430-440um Sap(002) |
AIN外延厚度(Thinkness) | 50~200nm |
晶面取向(Orientantion) | c-aixs[0001] |
表面粗糙度(nm)(5*5nm) | Rq<1.20nm(200nm) |
XRC(°)(002) | <0.05° |
總厚度變化(TTV) | <7um |
翹曲度(Warp) | <30um |
彎曲度(BoW) | -10~15um |
包裝(Packaging) | 單片/多片晶圓盒 |
直徑(inch) | 2、4......可定制 |