| 單價(jià)： | 面議 |
| 發(fā)貨期限： | 自買(mǎi)家付款之日起 天內發(fā)貨 |
| 所在地： | 福建 廈門(mén) |
| 有效期至： | 長(cháng)期有效 |
| 發(fā)布時(shí)間： | 2023-12-13 22:36 |
| 最后更新： | 2023-12-13 22:36 |
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INFICON HP100氣體分析儀基于自等離子體光發(fā)射光譜技術(shù)（SPOES），旨在提供半導體制造過(guò)程中的實(shí)時(shí)泄漏檢測、端點(diǎn)檢測和過(guò)程監控。 HP100具有出色的靈敏度，外形緊湊，提供寬廣的操作壓力范圍，無(wú)需昂貴的泵，因此非常適合大多數半導體工具的過(guò)程監控和保護。
氬氣的操作范圍為1 Torr - 450 Torr，氮氣的操作范圍為1 Torr - 120 Torr（其他氣體種類(lèi)則有所不同）
低檢測限<1 ppm
使用標準KF25連接，安裝方便
快速采樣（大20赫茲）
占地面積?。ǜ選寬x長(cháng)）：6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm］
低維護，不需要泵或消耗品
方便的現場(chǎng)可更換的等離子池
為您的特殊工藝需求提供全球專(zhuān)家支持
| 操作壓力 | 1 Torr - 450 Torr (取決于應用) |
| 光譜儀性能 | 200至850納米波長(cháng)（紫外-可見(jiàn)光） 16位全尺度分辨率，3648像素 |
| 檢測極限 | < 1 ppm (取決于應用) |
| 曝光時(shí)間 | 少1毫秒 |
| 真空配件 | KF25 |